非点補正用マイクログリッド

・直径3mmの銅グリッド（200メッシュ）に微小な孔の開いたプラスチック膜を貼り付け、カーボン蒸着を施したもの。

・ロットにより孔径が異なることがあります。

・使用する透過型電子顕微鏡の拡大倍率に適したサイズで、できるだけ真円に近い膜孔を利用して、ビームのX-Y方向の収差を調整します。