Pelcotec™ CDMS-XYは、SEM、FE-SEM、FIB、CD-SEM、LM、AFMの倍率を迅速かつ正確に較正するために使いやすく、非常に便利です。X軸とY軸の両方に目盛り線があり、ステージを回転させることなく2軸の較正が簡単に行えます。

幅広い測定範囲に対応する、完全な機能を備えたトレーサブルな較正用標準試料です。最新の半導体・MEMS製造技術で製造されており、優れたラインエッジ品質を実現します。

超平坦なシリコン基板上に、5µmまでの標準試料には50nmのクロムを正確に蒸着し、2µmから100nmまでの標準試料には20nmのクロムの上に50nmの金を組み合わせて作られています。Si上のCrおよびAu/Crは、SEおよびBSEイメージングモードの両方で優れたコントラストを提供します。また、エッチングされた標準的なSiと比較して、試料を容易に特定することができます。シリコン基板、クロム、クロム/金の特徴はすべて導電性であるため、この較正用標準試料では帯電の問題がありません。CDMS標準試料は頑丈に作られているため、プラズマクリーナーを用いて洗浄することができます。

小さな標準試料は入れ子状になっており、ナビゲーションが容易で、素早く較正ができます。標準試料の精度は0.3%以上です。実際の規格サイズは2.5 x 2.5mmで、厚さは675μm ±10μmです。Si表面にはコーティングは施されていません。各Pelcotec™ CDMS-XY標準試料には固有の識別番号が付けられています。

Pelcotec™ CDMS-XY-1C：NIST（アメリカ国立標準技術研究所）に認定された、10倍から20,000倍までの倍率で使用できる2.0mmから1μmまでの標準試料を持ち、デスクトップSEMや低・中倍率のアプリケーションに最適です。

Pelcotec™ CDMS-XY-0.1C：NIST（アメリカ国立標準技術研究所）に認定された、2.0mmから100nmまでの標準試料を持ち、最大倍率10～20万倍、すべてのSEMおよびほとんどのFE-SEMアプリケーションに対応します。

試料台なし、もしくは13種類の試料台からご希望のタイプを選ぶことができます。

商品画像（左から）

・標準試料外観

・CDMS-XY-1C　拡大写真