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商品説明
Pelcotec CDMSS
临界尺寸放大标准
Pelcotec CDMS 易于使用,对于快速准确地校准 SEMFE-SEMFIBCD-SEMLMAFM 的放大倍率非常有用に非常に便利です。
独特、经济、功能齐全、可追溯、测量范围广ルな校准它是一个标准的使用样品,它是充分利用最新的半导体和MEMS制造技术制成的。す。
高达 5 µm 的标准精确沉积在具有 50 nm 铬的超平坦硅基板上,2 µm 至 100 nm 的标准是通过在 Si 上结合 20 nm 的铬和 50 nm 的金制成的。Cr 和 Au/Cr 提供在 SE 和 BSE 成像模式下具有出色的对比度,与铬铬/金上的标准 Si 蚀刻硅基板相比,可以轻松识别样品。所有特征都是导电的,因此该校准标准没有充电问题 CDMS 标准坚固耐用,可以用等离子清洁器清洁いて洗浄することができます。
嵌套小标准,便于导航和快速校准 标准精度优于 0.3% 实际标准尺寸为 2.5 x 2.5mm,厚度为 675μm 10μm 硅表面无涂层 每个 Pelcotec CDMS 标准都有唯一的识别号が付けられています。
Pelcotec CDMS-1CNIST 通过美国国家标准与技术研究院认证μmまでの标准样品台式 SEM 和中低放大倍率应用的理想选择です。
Pelcotec CDMS-0.1CNISTST(美国国家标准技术研究院认证た、支持所有 SEM 和大多数 FE-SEM 应用,标准样品从 2.0mm 到 100nm,放大倍率高达 10.2Mxします。
您可以从无样品架或 13 种样品架中选择您想要的类型。す。
从产品图片的左上角ら)
・标准样品外观
・标准样品的放置
※下图仅为 CDMS-0.1C。す。
・CDMS-1C 放大照片
・CDMS-0.1C 放大照片
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