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マルチターゲット目盛校正標準試料
¥71,720
（税込）
¥65,200 （税抜）
Micro-Tec MTC-5 マルチターゲット目盛校正標準試料
校正と画像品質評価を単一の標準試料に統合
新しい革新的なMicro-Tec MTC-5 マルチターゲット目盛校正標準試料は、耐腐食性クロム線を備えた超平坦導電性シリコン基板を使用して設計されています。最新の半導体製造技術を駆使し、精密なパターンを製造します。Micro-Tecのマルチターゲット目盛は、明るくコントラストに富んだ画像を提供し、キャリブレーションを容易にします。
Micro-Tecのマルチターゲット目盛は、反射光イメージング、光学品質管理システム、低倍率SEMイメージングでの使用を目的としています。
・倍率調整
・限界寸法測定
・歪み補正
・画像品質評価
・品質管理測定
MTC-5 校正標準試料には4つの異なるパターンがあります。
・直径5μm～5mmの円形パターン
・5×5μmから5×5mmまでの正方形パターン
・5μmから5mmまでの六角形パターン
・0.002mm間隔の5×5mmのクロススケールパターン
蒸着されたCrラインは基板と同じ焦点面にあり、エッチングされたパターンよりも明確に表示され、より多くの信号を提供します。また、パターンにダスト粒子が蓄積しにくいという利点もあります。
各校正標準試料には、基板に固有の製品IDシリアル番号が刻印されています。Micro-Tec MTC-5 校正標準試料はNISTトレーサブルであり、各標準試料にはウェハレベルのトレーサビリティ証明書が付属されています。
シリコン上にCrラインを備えた明視野イメージング用のMTC-5をマウント無し、もしくは4つのマウントタイプでご用意しております。
・マウント無し
・25.4mmピンスタブ
・25mmJEOLスタブ
・25mm日立M4スタブ
・黒色スライドガラス
◆仕様
| 基板 | 525μm厚のホウ素添加超平坦Siウェハ（<100>方向） |
| 導電性 | 5～15Ωの抵抗率 |
| パターン | 円、正方形、六角形、クロススケール |
| パターンサイズ | 5×5mm（×4箇所） |
| ライン |
厚さ75nm、純粋に明るいクロムの線/特徴（中心から中心まで測定） 1μm幅の線、間隔5,10,15,20,25,30,35,40,45,50,55,60,65,70,75,80,85,90,95,100μm 5μm幅の線が125μmと150μm間隔で並べて表示 10μm幅の線、間隔200,250,300,350,400,500,600,700,800,900μm 20μm幅の線を1.0,1.5,2,2.5,3,3.5,4,4.5,5mm間隔で並べて表示 |
| クロススケール | 5mm幅の線、5×5mm、0.002mmの目盛 |
| サイズ | 12×12mm |
| アプリケーション | 反射光、走査型電子顕微鏡、光学イメージングシステム |
| 識別 | シリアル番号が刻印された製品ID |
| マウント | マウント無し、もしくはオプションで利用可能 |
| 供給スタイル | ゲルパックボックスで供給 |
※価格は予告なく改定する場合があります。
※納期はお問い合わせください。
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