Pelcotec CDMS-XY 易于使用，非常方便快速准确地校准 SEMFE-SEMFIBCD-SEMLMAFM 的放大倍率。它在 X 和 Y 轴上都有刻度标记，无需旋转载物台即可进行两轴校准。简单的較正が簡単に行えます。

用于各种测量的功能齐全、可追溯的校准标准采用最新的半导体 MEMS 制造技术制造，具有出色的线边缘质量現します。

高达 5 µm 的标准精确沉积在具有 50 nm 铬的超平坦硅基板上，2 µm 至 100 nm 的标准是通过在 Si 上结合 20 nm 的铬和 50 nm 的金制成的。Cr 和 Au/Cr 提供在 SE 和 BSE 成像模式下都具有出色的对比度，并且与铬铬/金上的标准 Si 蚀刻硅基板相比，可以轻松识别样品。所有特征都是导电的，因此该校准标准没有充电问题 CDMS 标准坚固耐用，可以用等离子清洁器清洁いて洗浄することができます。

嵌套小标准，便于导航和快速校准 标准精度优于 0.3% 实际标准尺寸为 2.5 x 2.5mm，厚度为 675μm 10μm 硅表面无涂层 每个 Pelcotec CDMS-XY 标准都有唯一的识别号が付けられています。

Pelcotec CDMS-XY-1CNIST 美国国家标准与技术研究院认证μmまでの标准样品台式 SEM 和中低放大倍率应用的理想选择です。

Pelcotec CDMS-XY-0.1CNISTST（美国国家标准技术研究院认证た、支持所有 SEM 和大多数 FE-SEM 应用，标准样品从 2.0mm 到 100nm，放大倍率高达 10.2Mxします。

您可以从无样品架或 13 种样品架中选择您想要的类型。す。

左起产品图片ら）

・标准样品外观

・CDMS-XY-1C 放大照片