アモルファスシリコン支持膜

・シリコン(Si)蒸着膜の単層支持膜（アモルファスシリコン膜）です。
・カーボン膜よりも密度は大きいですが、電子線透過時のエネルギーロスが小さいためEELS分析に有利です。
・膜厚により、S05（5nm程度）、S10 (10nm程度）、S15 (15nm程度）の3シリーズがあります。
・S05シリーズは、金属グリッド上に中間支持体として貼り付けたマイクログリッドの上にSi膜を支持しています。

・S05シリーズ：5nm以上のナノ粒子に適した高分解能観察用支持膜です。
・S10シリーズ：10nm以上のナノ粒子に適した高分解能観察用支持膜です。
・S15シリーズ：15nm以上のナノ粒子に適した高分解能観察用支持膜です。

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