SEMグレーティングレプリカ

・走査電子顕微鏡の拡大倍率の絶対値測定ではなく、SEM倍率の経年変化チェックやSEMの装置調整 (非点収差補正など）にご利用できます。

・Au-Pdシャドウイング処理が施されていますのでコントラストの高い像として観察することができます。

・格子の間隔の違いで2種類ご用意しております。

■グレーティングレプリカ(S22)

格子形状：2000本/mm(ライン間隔：0.5μm）の回折格子が縦横にクロスした形状です。

■グレーティングレプリカ(S12)

格子形状：2000本/mm(ライン間隔：0.5μm）と1000本/mm(ライン間隔：1μm）の回折格子が縦横にクロスした形状です。

※試料形状：Au-PdをプレシャドウイングしたSEM観察用のレプリカ膜です。

※使用基板：4.5ｍｍΦのアルミニウム板上にグラファイトペーストで接着固定されています。

※有効使用保証面積：1.0mm角程度以上

※格子間隔精度：製品の特性上、格子間隔の絶対寸法あるいは精度は保証いたしかねます。